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微光机电系统（MOEMS）的设计与制造工艺研究

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摘要摘要：微光机电系统（MOEMS）作为新兴技术，集成了微型光学、机械与电子元件于一体，展现了在通信、显示技术及生物医学工程中的巨大应用潜力。本研究旨在探讨MOEMS的设计原则及其制造工艺的优化路径，以提升其性能和可靠性。首先分析了当前MOEMS设计面临的挑战，包括材料选择、集成度和制造成本等方面的问题；其次讨论了几种先进的制造技术，如光刻、蚀刻和薄膜沉积等，并评估了这些技术对提高MOEMS器件性能的影响；最后提出了一套基于创新设计理念的解决方案，以期为未来MOEMS的研究提供参考。

DOI 7j6vgqyy0d/8995218

作者马瑞-吴磊

机构地区中南民族大学-电子信息工程学院

出处《科技新时代》 2025年1期

关键词微光机电系统设计原则制造工艺性能优化

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2025年03月14日（期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）